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    • Survey of semiconductor wafer defect detection method based on machine vision

    • “The development of integrated circuit technology cannot be separated from semiconductor wafers, and defect detection is crucial to ensure chip performance. This article summarizes the research progress of wafer defect detection methods, providing solutions for improving wafer yield and productivity.”
    • Vol. 30, Issue 1, Pages: 25-50(2025)   

      Received：01 February 2024，

      Revised：29 April 2024，

      Published：16 January 2025

    • DOI： 10.11834/jig.240053     

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  • Hu Zhiqiang， Wu Yiquan. 2025. Survey of semiconductor wafer defect detection method based on machine vision. Journal of Image and Graphics， 30(01):0025-0050 DOI： 10.11834/jig.240053.
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